招 标 公 告
招标公告
南智先进光电集成技术研究院 2021年3月25日
一、 招标人：南京南智先进光电集成技术研究院有限公司
二、 招标信息
1. 公开招标项目名称：南智光电研究院平台设备采购
2. 报价方式：设备技术规格书及设备报价单方式报价
3. 公示（报名）时间：2021年3月25日至2021年3月31日
4. 报名方式：shenhoujun@ioptee.com
5. 联系人：沈厚军
6. 咨询电话：18951907529
7. 评标方式：通过技术规格书、设备报价单谈判，合理最低价中标
三、 投标人须知
1. 投标人提供设备详细技术参数及相关检测报告；
2. 具有法人的资格，在中华人民共和国境内注册，能开具增值税发票；
3. 投标方对招标文件如有疑点要求澄清，应以书面形式提出质疑，发送至shenhoujun@ioptee.com 。
四、 附件
1. 设备采购清单
南京南智先进光电集成技术研究院
2021年3月25日
附件：
南智光电平台设备招采清单 | ||
| 设备名称 | 数量 | 备注 |
半自动清洗机 | 1台 | 配置说明：1.设备配置SPM、SC-1、SC-2、DHF、冲洗槽、QDR、预留QDR工位； 2.用于2、4、6寸芯片无机清洗，槽体可放置25片/盒晶舟一盒；3.花篮在槽体间手动移动； 4.工艺槽体参数要求依据工艺文件（功能性达到，未必配置完全一样） |
自动甩干机 | 1台 | 配置说明：上槽体为2、4寸公用，下槽为6、8寸公用 |
工艺槽体参数
SPM 工艺槽
l 材质：石英贴膜加热槽（GE214 材质）；
l 内槽尺寸约：250x210x 250mm (LxWxD)；
l 化学品：HSO4 :H2O2:H2O = 1:1:5 ~ 5:0:0
l 供液补液：人工手动供液补液；自动计量添加氧水，配有计量泵（与其他 2 个槽 共用），20L 药液桶放置于设备后部，配有空桶报警；
l 补水：配有补水功能，通过按钮控制，松开按钮则停止供水，或可设置进水时间；
l 工艺温度：室温~120℃±3℃；
l 温度控制：配有温控保护以及显示，当温度高于或低于设定值时，超温热电偶激 活报警。
l 槽内传感器：液位传感器，防止低液位加热；
l 计时：工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调，设定精度为 1 秒；
l 药效记忆：药液使用次数可记忆，使用时长可记忆，设定次数或时长到后报警提 示更换药液；
l 排放：重力回收排放，与温度互锁，自然冷却低于 50℃可排；.回收桶位于设备后 部，配有满液报警提示，满液停止排液；
l 槽盖：手动，材质为 NPP；
SC-1 工艺槽
l 材质：石英水浴超声加热槽（GE214 材质）；
l 内槽尺寸约：250x210x 250mm (LxWxD)；
l 化学品：NH4OH :H2O2:H2O = 1:1:5 ~ 1:4:20.
l 供液补液：人工手动供液补液；自动计量添加氧水，配有计量泵（与其他 2 个槽 共用），20L 药液桶放置于设备后部，配有空桶报警；
l 工艺温度：室温~75℃±2℃，内槽投入式加热器加热；
l 温度控制：配有温控保护以及显示，当温度高于或低于设定值时，超温热电偶激 活报警。
l 槽内传感器：液位传感器，防止低液位加热；
l 超声：外槽配有水浴超声，40KHz，功率可调，外槽配有自动上水，液位保护， 以及手阀排放；
l 计时：工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调，设定精度为 1 秒；
l 药效记忆：药液使用次数可记忆，使用时长可记忆，设定次数或时长到后报警提 示更换药液；
l 排放：重力回收排放，与温度互锁，自然冷却低于 50℃可排；.回收桶位于设备后 部，配有满液报警提示，满液停止排液；
l 槽盖：手动，材质为 NPP；
SC-2 工艺槽
l 材质：石英贴膜加热槽（GE214 材质）；
l 内槽尺寸约：250x210x 250mm (LxWxD)；
l 化学品：HCL :H2O2:H2O = 1:1:5 ~ 1:4:20
l 供液补液：人工手动供液补液；自动计量添加氧水，配有计量泵（与其他 2 个槽 共用），20L 药液桶放置于设备后部，配有空桶报警；
l 工艺温度：室温~75℃±3℃；
l 温度控制：配有温控保护以及显示，当温度高于或低于设定值时，超温热电偶激 活报警。
l 槽内传感器：液位传感器，防止低液位加热；
l 计时：工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调，设定精度为 1 秒；
l 药效记忆：药液使用次数可记忆，使用时长可记忆，设定次数或时长到后报警提 示更换药液；
l 排放：重力回收排放，与温度互锁，自然冷却低于 50℃可排；.回收桶位于设备后 部，配有满液报警提示，满液停止排液；
l 槽盖：手动，材质为 NPP；
HF 工艺槽
l 材质：德国劳士领 PVDF 板材焊接而成；
l 内槽尺寸约：250x210x 250mm (LxWxD)；
l 化学品：HF
l 补水：配有补水功能，通过按钮控制，松开按钮则停止供水，或可设置进水时间；
l 供液补液：人工手动供液补液；
l 工艺温度：室温；
l 温度控制：无温控
l 计时：工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调，设定精度为 1 秒；
l 药效记忆：药液使用次数可记忆，使用时长可记忆，设定次数或时长到后报警提示 更换药液；
l 排放：重力回收排放，.回收桶位于设备后部，配有满液报警提示，满液停止排液；
l 槽盖：手动，材质为 NPP；
QDR 槽
l QDR 标准流程，上喷淋、下给水，溢流、鼓氮, 快排
l 槽体：NPP 材质板制作而成；
l 槽内尺寸约：250x 210x250mm (LxWxD)；
l 供水：能快速注水，主管路使用 CL-PVC 管道，时间可设定；
l 溢流：底部溢流注水，溢流时间可设定，两路溢流管路，大小水流溢流，并可调；
l N2 鼓泡：底部设有鼓泡系统，鼓泡流量通过调节阀可调；
l 喷淋：两侧喷淋，高速喷嘴，角度可调节,时间可调；
l 排放：QDR 快排阀控制快速排放， N P P 排放管路，排放时间≤6S；
l 参数设定：清洗循环次数、喷淋时间、溢流时间可设定，时间设定精度为 1 秒；
冲洗槽
l 上水，鼓泡 排放；
l 槽体：NPP 材质板制作而成；
l 槽内尺寸约：250x 210x250mm (LxWxD)；
l 供水：人工手动上水；
l 鹅颈水龙头：配有一个手动鹅颈水龙头；
l N2 鼓泡：底部设有鼓泡系统，鼓泡流量通过调节阀可调；
l 排放：手动阀排放；
预留槽位
l 孔位开好，按照 QDR 槽尺寸设计开孔及位置，为后续若有需求添加槽体备用；
