以下文章来源于微信公众号Optical Note ，作者Tubian

做薄膜铌酸锂研究，晶圆是最根本的源头。大部分薄膜铌酸锂研究者都知道薄膜铌酸锂晶圆(LNOI)已经实现商业化生产，但是到了实际购买时，又发现能供货也就那么一两家，像国内比较出名的就济南晶正（NanoLN），其它是否还有厂商供应，大多数研究者都不清楚。

为加深对行业认知，我调研整理了一下相关的商业化晶圆产品。本篇文章作为调研结果呈现于此，既满足自己，也满足大家的需求，希望对大家科研及工作有所帮助。如果大家有更多LNOI晶圆供应商信息，也欢迎大家补充，本文内容均是基于公开资料汇总，并不能完全说明各厂商产品的实际情况，更详细的产品性能指标，可以自己联系询问。

LNOI晶圆厂商汇总：

济南晶正、上海新硅聚合、PAM xiamen、Partow Technologies、NGK Insulators、SRICO

表：薄膜铌酸锂晶圆厂商汇总信息

1、济南晶正 NanoLN（中国）

图：济南晶正薄膜铌酸锂晶圆样品

简介：济南晶正电子科技有限公司成立于2010年, 专门致力于纳微米级厚度光电、压电单晶薄膜材料产业化生产。在国际上率先开发出并产业化300-900纳米厚度铌酸锂单晶薄膜材料产品，国内外很多优秀的薄膜铌酸锂研究成果均是基于其晶圆产品实现，包括如：哈佛大学、耶鲁大学、清华大学、北京大学、浙江大学等世界名校和京都陶瓷等光电行业的世界名企，其晶圆产品质量也得到广泛的认可。

官网：https://cn.nanoln.com/PRODUCTS.html#comp-maeh1ti8

晶圆产品信息：晶圆尺寸3/4/6 inch，切向X，Y，Z，LN的厚度300~900nm，衬底为10,000Ωcm高阻硅。

图：济南晶正薄膜铌酸锂晶圆产品信息

2、上海新硅聚合 shnsit（中国）

简介：上海新硅聚合半导体有限公司成立于2020年12月，注册资本1.75亿元人民币，坐落于中国上海嘉定区，由海归博士团队牵头，联合各方投资者设立。是一家致力于异质集成材料衬底研发、生产及销售的高技术企业。公司目前主要产品有高性能微声芯片材料、高速光通讯芯片材料。形成相关专利40余项，具有完整的产品自主研发知识产权。（从目前官网上的产品来看，其主攻产品与NanoLN产品相近，都是专注于薄膜铌酸锂/钽酸锂两种晶圆产品）

官网：http://www.shnsit.com/GaoSuGuangXinPianCaiLiao

晶圆产品信息：晶圆尺寸4inch，切向X，LN的厚度300~600nm

表：上海新硅聚合 LNOI产品参数

图：上海新硅聚合LNOI晶圆产品测试结果 a）4英寸硅基X-Cut LNOI图片；（b）铌酸锂薄膜白光干涉仪膜厚mapping图；（c）铌酸锂XRD测量图；（d）铌酸锂CMP后表面粗糙度测量图

3、PAM xiamen（中国香港）

简介：Xiamen Powerway Advanced Material Co., Limited（中文名：厦门博威先进材料有限公司，1990年香港注册企业），其产品业务涵盖GaN Wafer、SiC Wafer、GaAs Wafer、Compound Semiconductor、Germanium Wafer、CdZnTe Wafer、Silicon Wafer以及LNOI wafer。从业务范围来看，LNOI晶圆产品只是该公司的附带业务，并不像前面两家公司那样专注于LNOI晶圆的制备。

官网：https://www.powerwaywafer.com/4-linbo3-thin-film-on-silicon-wafer.html

晶圆产品信息：以下是官网显示的部分LNOI晶圆产品信息，晶圆尺寸4inch，切向X，Y，Z均可，LN的厚度300~500nm，衬底为10,000Ωcm高阻硅

表：PAM xiamen晶圆产品信息

4、Partow Technologies（美国）

图：Partow Technologies 晶圆加工工艺及样品

简介：Partow Technologies成立于2012，是中佛罗里达大学薄膜铌酸锂技术产业化的结果，公司CEO Payam Rabiei。公司的核心技术是超高真空表面活化键合能力。使用这种技术，该公司可以在室温下键合各种材料。在键合后，通过减薄或晶体离子切片方法制备各种材料的薄膜。该公司目前为客户提供各种定制薄膜、定制厚膜制造及键合服务。基于上述技术，该公司开发了基于薄膜铌酸锂和钽酸锂键合的先进光子材料。（关于Partow Technologies的相关文献报道参考【2】~【6】）

官网：http://www.partow-tech.com/thinfilms/

晶圆产品信息：晶圆尺寸3/4/6 inch，切向X，Y，Z，LN的厚度300~1200nm，衬底为0~20,000Ωcm高阻硅。

表：Partow Technologies LNOI晶圆产品质量信息

5、SRICO（美国）

简介：SRICO主要做LN相关器件研究，主要包括：非线性波长转化器、电光调制器、电场传感器、电压传感器。关于LNOI晶圆产品信息在其官网上并未报道，只是在部分文献中有所描述，可参考【7】~【9】。

官网：https://www.srico.com/

晶圆产品信息：3 inch LN厚度1000nm

图：SRICO 3 inch TFLN wafer

6、NGK Insulators（日本）

图：NGK Insulators 多材料晶圆键合服务

官网：https://www.ngk-insulators.com/en/product/wafer.html

图：NGK Insulators 能够支持的键合材料种类

参考资料

【1】https://zhuanlan.zhihu.com/p/368429795

【2】 Optical and electro-optical properties of submicrometer lithium niobate slab waveguides prepared by crystal ion slicing and wafer bonding

【3】Lithium niobate ridge waveguides and modulators fabricated using smart guide

【4】Heterogeneous lithium niobate photonics on silicon substrates

【5】Lithium niobate photonics on silicon substrates

【6】Heterogeneous microring and Mach-Zehnder modulators based on lithium niobate and chalcogenide glasses on silicon

【7】Electro-optic devices in Thin Film Lithium Niobate (TFLN™)

【8】Enhanced electro-optical lithium niobate photonic crystal wire waveguide on a smart-cut thin film

【9】Integrated RF Photonic Devices Based on Crystal Ion Sliced Lithium Niobate

【10】Low-loss waveguides on Y-cut thin film lithium niobate towards acousto-optic applications

【11】X-cut LiNbO 3 Coupled Resonators for Narrow-band Filtering Applications

【12】A 100 nm Thick, 32 kHz X-Cut Lithium Niobate Piezoelectric Nanoscale Ultrasound Transducer for Airborne Ultrasound Communication