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坐标厦门!集萃光电所(南智光电)邀您共赴第四届光电子集成芯片立强大会盛夏之约

时间:2023-08-04 点击量: 1423


第四届电子集成芯片立强大会

2023年8月12-17日

在厦门北海湾惠龙万达嘉华酒店隆重举行


      2023年8月12-17日, 第四届光电子集成芯片立强大会,集萃先进光电材料与器件技术研究所(南智先进光电集成技术研究院)在厦门北海湾惠龙万达嘉华酒店二层集中展示技术研发及产业服务能力,敬请莅临现场指导。

集萃光电所(南智光电)展位设在酒店二层


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展会介绍


      为进一步推动光电子与交叉领域的技术交流、产业链合作和人才培养,展示光电子集成芯片材料、器件、工艺平台、仿真设计、封测技术及其在光通信、数据中心、高性能计算、多维存储与显示、无人驾驶、传感与成像等领域的应用,中国光学工程学会将联合业内优势单位,于2023年8月12-17日在厦门举办“第四届光电子集成芯片立强大会”。本届盛会设有15个专题分会,力邀200余位学术界、工业界领军专家出席,开展广泛的交流探讨。同期将举办圆桌讨论、专家讲座、培训、青年企业家交流会、光电子平台联合展示、人才招聘等活动,为与会者提供新的技术思路和前沿信息,向企业、科研人员、老师学生提供专业级学习机会。


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展会看点
1.薄膜铌酸锂刻蚀工艺服务
(1)EBL光刻+干法刻蚀
·刻蚀深度最大可达600 nm,误差小于10 nm;
·刻蚀倾角大于70°;
·刻蚀最小线宽为100 nm,刻蚀间隙最小为300 nm。

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(2)整晶圆DUV光刻+干法刻蚀                
·侧壁光滑,倾角~67°;
·最小顶宽~130 nm,最大刻蚀深度>600 nm;
·4英寸晶圆均匀性良好,刻蚀深度较为一致,单模波导损耗<0.5 dB/cm。

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2.铌酸锂周期极化晶片
(1)体块铌酸锂周期极化晶片及质子交换波导
·最小周期:5 µm,样品厚度:0.2 mm - 0.5 mm,质子交换波导模斑尺寸:5 μm - 9 μm。
(2)薄膜铌酸锂周期极化波导
·最小周期可达4 µm,薄膜厚度为300 nm - 600 nm,波导宽度为1µm-2.4 µm。

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3.薄膜铌酸锂器件加工服务
·薄膜铌酸锂微环:单模Q值最优大于5×105,多模值最优大于106;
·端面耦合器:单边损耗小于3 dB;
·光栅耦合器:单边损耗小于8 dB;
·MMI分束器:损耗小于0.1 dB;
·薄膜铌酸锂电光调制器芯片:调制器带宽大于67 GHz,半波电压小于3.5 V,可根据需求定制。

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4.硅光样品工艺服务
SiN波导传输损耗优于1 dB/cm,最小加工线宽80 nm,支持MMI MZI(热调)、AWG等。

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5.超表面样品工艺服务
最小加工线宽可达90 nm,侧壁倾角优于87°。

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6.光刻制程工艺服务
可加工8英寸及以下各种晶圆及碎片,线宽精度依据需求最小可到8 nm。

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7.刻蚀制程工艺服务
可加工8英寸及以下各种晶圆及碎片,刻蚀材料种类较多,包括:硅片、氧化硅、氮化硅、磷化铟、氮化镓、蓝宝石、铌酸锂等。

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8.镀膜制程工艺服务
可加工8英寸及以下各种晶圆及碎片,镀膜材料品种齐全,包括:氧化硅、氮化硅等CVD工艺介质薄膜等。

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9.封装测试制程工艺服务
设备:扫描电子显微镜、双束电镜、原子力显微镜、金丝键合机、解理机、膜厚仪与椭偏仪等。

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10.后道制程工艺服务
设备:贴蜡机、减薄机、抛光机、砂轮划片机。

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11.长/短通滤光片
长/短通滤光片,透射带、截止带、中心波长、尺寸,均可依据需求定制。

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12.光掩模版定制服务
可提供苏打玻璃版、石英玻璃版、苏打玻璃干版、菲林版等,可提供从图形设计、版图绘画到制作光掩膜版的整套解决方案。                

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关于我们

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集萃先进光电材料与器件技术研究所 (南智先进光电集成技术研究院) ,成立于2018年4月,系南京大学与南京市、南京江北新区校地共建重点项目,2021年获批建设江苏省光电技术创新中心,2023年2月成为江苏省产业技术研究院先进光电材料与器件技术研究所。


集萃先进光电所(南智光电)主要开展光学微纳结构器件制造、异质集成光电芯片、光电子封装测试和光电集成设计等方向的技术研发、产业孵化和赋能投资。


集萃先进光电所(南智光电)拥有5000平米洁净产线,价值近亿元微纳加工、检测设备,致力于建成国际一流铌酸锂+ X光电异质集成公共技术平台,为光电企业、高校院所提供光电芯片及器件研制、开发和制备服务


集萃先进光电所(南智光电)先后服务创新创业团队300余个,支持50余名研发工艺专家驻厂开展核心工艺研发,孵引、集聚光电领域高科技企业40余家,获市级人才计划支持11项,获社会资本融资累计超10亿元


5年来,集萃先进光电所(南智光电)在先进光电材料制备、微纳结构器件研发等领域取得多项成果,1项被选入中央党史博物馆展陈,先后有3项成果入选2021、2022年度中国光学十大进展,1项获得国际金奖


集萃先进光电所(南智光电)现有员工80名,其中研发人员50余人,包括院士1人、“四青”4人、省“333"工程1人、省“双创“专家2人。拥有授权专利60余项,5年来累计承担国家重点研发计划、国家重大仪器专项、江苏省前沿引领技术专项、南京市重大专项等科研课题项目20余项,获IS09001、ISO24001、ISO45001质量环境职业健康安全三体系认证和GB/T29490知识产权管理体系等资质认证,获批建设江苏省博士后站、研究生工作站,南京市技术工程研究中心、科创实验室等机构。荣鹰南京市第五届“五四”青年奖章集体奖、南京市首届大学生就业“良木奖”、“扛起三大使命”市级先进集体等荣誉。