菜单

当前位置: 首页> 新闻动态>

招 标 公 告

时间:2021-03-26 点击量: 4415

招标公告

 

南智先进光电集成技术研究院                                                                 20213月25


image.png 

   一、 招标人:南京南智先进光电集成技术研究院有限公司                                                                                

   二、 招标信息                                                                                                                                                     

   1. 公开招标项目名称:南智光电研究院平台设备采购                                                                                      

   2. 报价方式:设备技术规格书及设备报价单方式报价                                                                                     

   3. 公示(报名)时间:20213月25日至20213月31日                                                                                

    4. 报名方式:shenhoujun@ioptee.com                                                                                                     

   5. 联系人:沈厚军                                                                                                                                            

   6. 咨询电话:18951907529                                                                                                                              

   7. 评标方式:通过技术规格书、设备报价单谈判,合理最低价中标                                                               

   三、 投标人须知                                                                                                                                                

   1. 投标人提供设备详细技术参数及相关检测报告;                                                                                        

   2. 具有法人的资格,在中华人民共和国境内注册,能开具增值税发票;                                                       

3. 投标方对招标文件如有疑点要求澄清,应以书面形式提出质疑,发送至shenhoujun@ioptee.com 

   

   四、 附件                                                                                                                                                          

   1. 设备采购清单                                                                                                                                              

                                                                                南京南智先进光电集成技术研究院

                                                                                2021年3月25日

  

 

                                                                              附件:


南智光电平台设备招采清单


设备名称数量备注





半自动清洗机





1台


配置说明:1.设备配置SPM、SC-1、SC-2、DHF、冲洗槽、QDR、预留QDR工位;

2.用于2、4、6寸芯片无机清洗,槽体可放置25片/盒晶舟一盒;
3.花篮在槽体间手动移动;

4.工艺槽体参数要求依据工艺文件(功能性达到,未必配置完全一样)



自动甩干机



1台


配置说明:上槽体为2、4寸公用,下槽为6、8寸公用


工艺槽体参数


SPM 工艺槽

材质:石英贴膜加热槽(GE214 材质);

内槽尺寸约:250x210x 250mm (LxWxD);

化学品:HSO4 :H2O2:H2O = 1:1:5 ~ 5:0:0

供液补液:人工手动供液补液;自动计量添加氧水,配有计量泵(与其他 2 个槽 共用),20L 药液桶放置于设备后部,配有空桶报警;

补水:配有补水功能,通过按钮控制,松开按钮则停止供水,或可设置进水时间;

工艺温度:室温~120℃±3℃;

温度控制:配有温控保护以及显示,当温度高于或低于设定值时,超温热电偶激 活报警。

槽内传感器:液位传感器,防止低液位加热;

计时:工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调,设定精度为 1 秒;

药效记忆:药液使用次数可记忆,使用时长可记忆,设定次数或时长到后报警提 示更换药液;

排放:重力回收排放,与温度互锁,自然冷却低于 50℃可排;.回收桶位于设备后 部,配有满液报警提示,满液停止排液;

槽盖:手动,材质为 NPP;

SC-1 工艺槽

材质:石英水浴超声加热槽(GE214 材质);

内槽尺寸约:250x210x 250mm (LxWxD);

化学品:NH4OH :H2O2:H2O = 1:1:5 ~ 1:4:20.

供液补液:人工手动供液补液;自动计量添加氧水,配有计量泵(与其他 2 个槽 共用),20L 药液桶放置于设备后部,配有空桶报警;

工艺温度:室温~75℃±2℃,内槽投入式加热器加热;

温度控制:配有温控保护以及显示,当温度高于或低于设定值时,超温热电偶激 活报警。

槽内传感器:液位传感器,防止低液位加热;

超声:外槽配有水浴超声,40KHz,功率可调,外槽配有自动上水,液位保护, 以及手阀排放;

计时:工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调,设定精度为 1 秒;

药效记忆:药液使用次数可记忆,使用时长可记忆,设定次数或时长到后报警提 示更换药液;

排放:重力回收排放,与温度互锁,自然冷却低于 50℃可排;.回收桶位于设备后 部,配有满液报警提示,满液停止排液;

槽盖:手动,材质为 NPP;

SC-2 工艺槽

材质:石英贴膜加热槽(GE214 材质);

内槽尺寸约:250x210x 250mm (LxWxD);

化学品:HCL :H2O2:H2O = 1:1:5 ~ 1:4:20

供液补液:人工手动供液补液;自动计量添加氧水,配有计量泵(与其他 2 个槽 共用),20L 药液桶放置于设备后部,配有空桶报警;

工艺温度:室温~75℃±3℃;

温度控制:配有温控保护以及显示,当温度高于或低于设定值时,超温热电偶激 活报警。

槽内传感器:液位传感器,防止低液位加热;

计时:工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调,设定精度为 1 秒;

药效记忆:药液使用次数可记忆,使用时长可记忆,设定次数或时长到后报警提 示更换药液;

排放:重力回收排放,与温度互锁,自然冷却低于 50℃可排;.回收桶位于设备后 部,配有满液报警提示,满液停止排液;

槽盖:手动,材质为 NPP;

HF 工艺槽

材质:德国劳士领 PVDF 板材焊接而成;

内槽尺寸约:250x210x 250mm (LxWxD);

化学品:HF

补水:配有补水功能,通过按钮控制,松开按钮则停止供水,或可设置进水时间;

供液补液:人工手动供液补液;

工艺温度:室温;

温度控制:无温控

计时:工艺时间 0-9999s 控制界面可设定并可调,设定精度为 1 秒;

药效记忆:药液使用次数可记忆,使用时长可记忆,设定次数或时长到后报警提示 更换药液;

排放:重力回收排放,.回收桶位于设备后部,配有满液报警提示,满液停止排液;

槽盖:手动,材质为 NPP;

QDR 槽

QDR 标准流程,上喷淋、下给水,溢流、鼓氮, 快排

槽体:NPP 材质板制作而成;

槽内尺寸约:250x 210x250mm (LxWxD);

供水:能快速注水,主管路使用 CL-PVC 管道,时间可设定;

溢流:底部溢流注水,溢流时间可设定,两路溢流管路,大小水流溢流,并可调;

N2 鼓泡:底部设有鼓泡系统,鼓泡流量通过调节阀可调;

喷淋:两侧喷淋,高速喷嘴,角度可调节,时间可调;

排放:QDR 快排阀控制快速排放, N P P 排放管路,排放时间≤6S;

参数设定:清洗循环次数、喷淋时间、溢流时间可设定,时间设定精度为 1 秒;

冲洗槽

上水,鼓泡 排放;

体:NPP 材质板制作而成;

槽内尺寸约:250x 210x250mm (LxWxD);

供水:人工手动上水;

鹅颈水龙头:配有一个手动鹅颈水龙头;

N2 鼓泡:底部设有鼓泡系统,鼓泡流量通过调节阀可调;

排放:手动阀排放;

预留槽位

孔位开好,按照 QDR 槽尺寸设计开孔及位置,为后续若有需求添加槽体备用;