晶圆出货时如何储存与运输？

时间：2024-04-11 点击量： 215

知识星球（星球名：芯片制造与封测社区）里的学员问：晶圆在晶圆厂完成全部工序后，存储和运输有哪些特别的要求，是否需要特殊环境包装呢？

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存储一般是放在氮气柜里，氮气柜通的有高纯氮气，且氮气柜可以控制湿度与温度，湿度在20-24℃，湿度30%-50%，具体要根据现场情况来定。

运输一般需要将晶圆放在晶圆盒中，晶圆盒会放在防静电的袋子里，袋子里会被抽真空，之后装晶圆盒的袋子会放入箱子中，箱子中会有软垫等缓冲材料保护，当然这些在无尘车间完成的。如果有条件，也可以在运输车辆里创造氮气，控温控湿的环境。其他的比如标签一定要贴好，以便跟踪。

晶圆储存与运输要注意的因素有哪些？

静电：静电放电会烧毁芯片，因此需要使用防静电的包装材料，在包装时也要对晶圆做防静电处理。

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