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南智光电发布晶圆级薄膜铌酸锂PDK2.0

时间:2024-09-10 点击量: 2031

在2024第二届扬子江光电技术及产业发展大会上,南智先进光电集成技术研究院(以下简称“南智光电”)正式发布晶圆级薄膜铌酸锂器件工艺开发包(Process Design Kit,简称PDK)2.0版本。在1.0版本基础上升级了工艺,优化了器件性能,提供了更丰富的具有可调节参数的器件库,标志着南智光电平台光子芯片产线标准化代工流片能力进一步提升。


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南智光电的PDK基于业界领先的设计平台,如Luceda的IPKISS、逍遥科技的photocad,提供了标准化的设计工具库。PDK规范并定义了包括调制器在内的各种关键器件的加工信息,如材料参数、工艺步骤、测试标准等,为制造环节提供了明确的指导,有助于提升产品的一致性和可靠性


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